Оборудование

АО «НИЦПВ» располагает современным оборудованием, эталонной базой и штатом квалифицированных специалистов, что позволяет выполнять широкий спектр услуг по метрологическому обеспечению и стандартизации в области нанотехнологий, измерений геометрических величин, физико-химического состава и свойств веществ, виброакустических величин.

Solver P47H
Сканирующий зондовый микроскоп Solver P47H

Исследование физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии. Точность измерения перемещения (система сканирования) по вертикали 0,1 нм, в латеральном направлении – 1 нм.

Hitachi, Япония
Микроскоп электронныйрастровый S-4800

Количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

Ntegra Aura
Сканирующая зондовая лаборатория Ntegra Aura

Модульная структура позволяет проводить исследования образцов в жидкостях. Возможность 
работы в контактном, прерывисто-контактном и бесконтактном режиме. 

Возможна работа в режиме АСМ и СТМ. Наличие вакуумной системы (давление до 10⁻² Торр ) 
позволяет проводить более аккуратный анализ сил взаимодействия между зондом и образцом. 
Исследование и модификация электрических (проводимость, емкостная микроскопия) 
и магнитных свойств объектов.

Spectroscopy & Imaging, Германия
Рамановский спектрометр высокого разрешения MICRO-S-RAMAN

Анализ химического строения твердых и жидких тел, механических напряжений в полупроводниках, характеризация углеродных нанотрубок. Применяется в полупроводниковой, химической, фармацевтической отраслях промышленности, при исследовании полимеров.

JEOL, Япония
Электронно-ионный микроскоп JIB-4500 c микроманипулятором IB-32010FPUS

Предназначен для управляемого локального травления сфокусированным ионным пучком проводящих и непроводящих объектов с заданным рисунком. В совокупности с микроманипулятором  IB-32010FPUS идеально подходит для оперативной подготовки образцов из выбранной области для исследования в ПЭМ.

JEOL, Япония
Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) JEM-2100

Анализ микро- и наноструктуры твердотельных объектов, измерение линейных размеров деталей структуры, наблюдаемых на изображении, и межплоскостных  расстояний  в режиме дифракции.

JEOL, Япония
Растровый электронный микроскоп JSM-6460LV с приставкой рентгенов-скогомикроанализа INCAx-sight, приставкой регистрации спектров микро-катодолюминес-ценцииMonoCL3 и приставкой регистрации дифракции обратно-рассеянных электронов

Количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, элементный анализ от В до U с чувствительностью порядка 0,1 %

BRUKER (Германия)
Рентгеновский дифрактометр модели D8 DISCOVER

Исследование кристаллической структуры твердотельных материалов, определение 
качественного и количественного фазового состава  и структуры твердых тел, 
параметров элементарной ячейки, микронапряжений в кристаллах. Рентгеноструктурный 
анализ кристаллических порошков. Возможность работы в режиме рефлектометра.

Disco, Япония
Установка резки пластин ADP1

Высокоточная система дисковой резки ADP1 предназначена для механической обработки пластин таких как: скрайбирование (неполный разрез пластины без разделения) и разрез пластины до полного разделения на части. Управление режимами резки микропроцессорное.

SSE Company, Германия
Установка OPTIwet ST30

Установка предназначена для осуществления операций химической очистки пластин и удаления резистов.

ОАО «НИЦПВ», Россия
Мера ширины и периода специальные МШПС-2.0К

Передача размера единицы длины в диапазоне 10-9 ÷ 10-4 м и калибровка (поверка) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Kulicke & Soffa, США
Установка разварки выводов 4524AD Package

Установка предназначена для  проведения процессов шариковой микросварки, формирования контактных выступов, точечной сварки и формовки шариков, формирования шарика электрическим разрядом, термокомпрессионной контактной микросварки.

Picosun, США
Установка атомарно –слоевого осаждения  Picosun Sunale R-150

Установка атомарно-слоевого осаждения тонких пленок СdS, TiN, HfO2, Ta2O5, TiO2, ZnO,  и др. толщиной от 2 нм  с точностью роста до одного монослоя и с  высокой  конформностью наносимых слоев.

ОАО «НИЦПВ», Россия
СО параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния ГСО 10030-2011

Градуировка, поверка и калибровка просвечивающих электронных  микроскопов (ПЭМ), исследования и контроля метрологических характеристик ПЭМ при проведении их испытаний в целях утверждения типа.

BOC Edwards, Англия
Вакуумная напылительная установка AUT0 500 BOC Edwards

Возможность нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков (толщина от 10 нм до 1 мкм).

Leica Microsystems, США
Оптический микроскоп Leika-DM2500

Микроскоп оптический поляризационный. Позволяет работать в проходящем и отраженном свете. Разрешение до 0,4 мкм. Имеется метод интерференционного контраста.

ЗАО “НТ-МДТ”, Россия
Сканирующая зондовая лаборатория Ntegra Aura  в комплекте с Ntegra Therma

Исследование физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии.

ЗАО “НТ-МДТ”, Россия
Cканирующая зондовая лаборатория Ntegra Prima

Исследование физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии.

ЗАО “НТ-МДТ”, Россия
Сканирующий зондовый микроскоп Solver P47

Исследование физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии.

ФГУП ВНИИОФИ, Россия
Автоматизированный интерференционныймикропрофилометр (АИМ)

Измерение микрорельефа  поверхности отражающих объектов, толщины тонких пленок, параметров шероховатости. Применяется в материаловедении, микроэлектронике.

FEI Company, США
Электронный микроскоп с приставкой электронной литографии, системой фокусированного ионного пучка и газовой химии Quanta 200 3D

Фигурная резка (травление фокусированным ионным пучком) поверхности объекта для формирования объемных структур произвольной формы и уровня сложности с разрешением до 70 нм. Энергия ионов варьируется от 100 эВ до 30 кэВ.

FEI Company, США
Растровый электронный микроскоп FEI Quanta 200

Измерение линейных размеров нанообъектов, элементного состава поверхности и спектров катодолюминесценции.

ЗАО “НТ-МДТ”, Россия
Сверхвысоковакуумный нанотехнический СЗМ-комплекс Nanofab-100

Предназначен для исследования геометрических параметров и физико-химических свойств микро и нанообъектов на поверхности различных образцов (включая полупроводниковые пластины диаметром до 100 мм) методами сканирующей зондовой микроскопии в условиях сверхвысокого вакуума.

BRUKER, Германия
Система лазерная измерительная ЛИС-01М

Для измерения линейных перемещений при поверке и калибровке высокоточных средств измерений линейных перемещений и систем прецизионного позиционирования и сканирования, емкостных и индуктивных измерительных преобразователей, тензодатчиков, лазерных измерителей наноперемещений, первичных преобразователей акустико-эмиссионных систем неразрушающего контроля.

BRUKER, Германия
Инфракрасный Фурье-спектрометр TENSOR 37 c ИК-микроскопом HYPERION

Качественный и количественный анализ химического состава твердых и жидких тел, их идентификация, контроль концентрации О и С  в Si пластинах, контроль качества лекарственных форм и сырья, криминалистический и биоклинический анализ.

Я согласен с условиями обработки персональных данных

Наверх