Электронный микроскоп с приставкой электронной литографии, системой фокусированного ионного пучка и газовой химии Quanta 200 3D

Фигурная резка (травление фокусированным ионным пучком) поверхности объекта для формирования объемных структур произвольной формы и уровня сложности с разрешением до 70 нм. Энергия ионов варьируется от 100 эВ до 30 кэВ.

Возможность формирования глубоких отверстий с аспектным отношением 1/10. Наличие электронного пучка позволяет проводить травление диэлектрических поверхностей.

Основные технические характеристики

Эффективный диаметр электронного зонда, согласно ГОСТ Р 8.636-2007
30 нм
Система электронной литографии компании Raith
 (разрешение до 70 нм).
Наличие 4 систем локального напуска газа. 2 из систем используются для селективного травления, а 2 – для нанесения проводящих покрытий (вольфрам и платина) по заданному рисунку.
Производитель
FEI Company, США

Я согласен с условиями обработки персональных данных

Наверх