Вакуумная напылительная установка AUT0 500 BOC Edwards

Возможность нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков (толщина от 10 нм до 1 мкм).

Основные технические характеристики

Магнетрон постоянного тока и радиочастотный (распыление в инертной или окислительной атмосфере), испарение электронным пучком (до 4 тиглей в загрузке), подогрев подложек.
Возможность нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков (толщина от 10 нм до 1 мкм).
Измерение толщины наносимых пленок методом кварцевого микробаланса.
Производитель
BOC Edwards, Англия

Я согласен с условиями обработки персональных данных

Наверх