Научно-исследовательский центр
по изучению свойств поверхности и вакуума

ВАКУУМНАЯ НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА AUT0 500 BOC EDWARDS

ОБОРУДОВАНИЕ

Возможность нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков (толщина от 10 нм до 1 мкм).

Основные технические характеристики

Магнетрон постоянного тока и радиочастотный (распыление в инертной или окислительной атмосфере), испарение электронным пучком (до 4 тиглей в загрузке), подогрев подложек.
Возможность нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков (толщина от 10 нм до 1 мкм).
Измерение толщины наносимых пленок методом кварцевого микробаланса.
Производитель BOC Edwards, Англия

ЗАЯВКА НА СОТРУДНИЧЕСТВО

Name

Adress

Phone

ID

Name2

Email

Выбор услуги

Message

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных