Научно-исследовательский центр
по изучению свойств поверхности и вакуума

МИКРОСКОП ЭЛЕКТРОННЫЙРАСТРОВЫЙ S-4800

ОБОРУДОВАНИЕ

Количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии. Оснащен автоэмиссионным катодом холодного типа.

Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных,  отраженных электронов и в режиме «напросвет».

Основные технические характеристики

  • Разрешение при ускоряющем напряжении 15кВ 1нм
  • Разрешение при ускоряющем напряжении 1кВ 1,5 нм
  • Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 15кВ не более 10 нм
  • Диапазон регулировки увеличения 30¸800000 крат.
  • Диапазон измерения линейных размеров 0,02¸10000 мкм
  • Погрешность измерений линейных размеров не более 5 %
  • Диапазон регулировки ускоряющего напряжения 0,1¸30 кВ
  • Производитель: Hitachi, Япония

ЗАЯВКА НА СОТРУДНИЧЕСТВО

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных