Мера ширины и периода специальные МШПС-2.0К

Передача размера единицы длины в диапазоне 10-9 ÷ 10-4 м и калибровка (поверка) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Применяется в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, фармацевтике и микробиологии, производстве полимеров и генная инженерия, создании наноструктурных материалов, оснащении органов государственных и метрологических служб.

Основные технические характеристики

Номинальное значение шага шаговой структуры меры (t)
2,00 мкм
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более
± 0,05 мкм
Диапазон значений ширины верхнего основания  выступов в шаговых структурах меры (bu)
10 ÷ 500 нм
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры (h)
100 ÷ 1400 нм
Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a)
75 ÷ 980 нм
Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры δ (в пределах ширины линии ориентирования), не более
5 нм
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения размеров bu, h, δ, не более
± 2 нм
Предел допускаемых значений абсолютной погрешности определения размера a, не более
± 1 нм

Я согласен с условиями обработки персональных данных

Наверх