Автоматизированный интерференционныймикропрофилометр (АИМ)

Измерение микрорельефа  поверхности отражающих объектов, толщины тонких пленок, параметров шероховатости. Применяется в материаловедении, микроэлектронике.

Основные технические характеристики

диапазон измерения глубины микрорельефа
100нм-20мкм
погрешность измерения глубины
5 нм
погрешность в плоскости изображения
0.4 мкм
диапазон перемещения автоматизированного координатного стола
40*40 мм2
минимальный шаг сканирования
5 мкм
увеличение микроскопа
33 крат
числовая апертура объектива
0.65
длина волны источника освещения
650 нм

Я согласен с условиями обработки персональных данных

Наверх