Установка атомарно –слоевого осаждения  Picosun Sunale R-150

Установка атомарно-слоевого осаждения тонких пленок СdS, TiN, HfO2, Ta2O5, TiO2, ZnO,  и др. толщиной от 2 нм  с точностью роста до одного монослоя и с  высокой  конформностью наносимых слоев.

Основные технические характеристики

Производитель
Picosun, США

Я согласен с условиями обработки персональных данных

Наверх