Измеритель диффузионной длины неосновных носителей заряда в кремниевых пластинах

Контроль качества исходных пластин кремния путем измерения диффузионной длины неосновных носителей заряда и концентрации металлической примеси методом малосигнальной поверхностной фотоэлектродвижущей силы.

Основные технические характеристики

• Диффузионная длина (Lo) 10… 2000 мкм при Lo < t
• Концентрация металла (Fe) 109… 1013см-3
• Погрешность измерений: 15…30 %