Измеритель диффузионной длины неосновных носителей заряда в кремниевых пластинах
Контроль качества исходных пластин кремния путем измерения диффузионной длины неосновных носителей заряда и концентрации металлической примеси методом малосигнальной поверхностной фотоэлектродвижущей силы.