ВАКУУМНАЯ НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА AUT0 500 BOC EDWARDS
ОБОРУДОВАНИЕ
Возможность нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков (толщина от 10 нм до 1 мкм).
Основные технические характеристики
Магнетрон постоянного тока и радиочастотный (распыление в инертной или окислительной атмосфере), испарение электронным пучком (до 4 тиглей в загрузке), подогрев подложек.
Возможность нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков (толщина от 10 нм до 1 мкм).
Измерение толщины наносимых пленок методом кварцевого микробаланса.
