Научно-исследовательский центр
по изучению свойств поверхности и вакуума
УСТАНОВКА АТОМАРНО –СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ PICOSUN SUNALE R-150
ОБОРУДОВАНИЕ
Установка атомарно-слоевого осаждения тонких пленок СdS, TiN, HfO2, Ta2O5, TiO2, ZnO, и др. толщиной от 2 нм с точностью роста до одного монослоя и с высокой конформностью наносимых слоев.