icon_nicpvCreated with Sketch.

Научно-исследовательский центр
по изучению свойств поверхности и вакуума

СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАНОТЕХНИЧЕСКИЙ СЗМ-КОМПЛЕКС NANOFAB-100

ОБОРУДОВАНИЕ

Предназначен для исследования геометрических параметров и физико-химических свойств микро и нанообъектов на поверхности различных образцов (включая полупроводниковые пластины диаметром до 100 мм) методами сканирующей зондовой микроскопии в условиях сверхвысокого вакуума.

Определяющая область применения — микро- и наноэлектроника (в том числе и в производственных условиях).

Основные технические характеристики

  • Давление остаточной атмосферы в СЗМ камере 5*10-8 Па, объем СЗМ-камеры -21 л
  • возможность работы в АСМ и СТМ режимах, замена иглы сканирования без напуска атмосферы,
  • автоматическое позиционирование образцов в диапазоне 100*100 мм
  • размер образцов не более 100*15 мм
  • диапазоны сканирования иглы 3*3*2.6 мкм и 80*80*10 мкм
  • разрешение в плоскости ХУ не более 0,15 нм, в плоскости Z -0,1 нм
  • возможность отжига образцов в вакууме
  • Производитель ЗАО “НТ-МДТ”, Россия
ПОЛУЧИТЬ КОНСУЛЬТАЦИЮ

ЗАЯВКА НА СОТРУДНИЧЕСТВО

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных

О нас

Деятельность

Услуги

Научное и метрологическое оборудование

Пресс-центр

Контакты

119421, Москва, ул. Новаторов, 40, корп. 1

+7 (495) 935-97-77

mail@nicpv.ru

Vk Telegram

© АО НИЦПВ, 2024

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных