СО ПАРАМЕТРОВ ШАГОВОЙ СТРУКТУРЫ В ТОНКОМ СЛОЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ГСО 10030-2011
ОБОРУДОВАНИЕ
Градуировка, поверка и калибровка просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), исследования и контроля метрологических характеристик ПЭМ при проведении их испытаний в целях утверждения типа.
Применяется в микро-, наноэлектронике, нанотехнологии, производстве полимеров и генной инженерии, создании наноструктурированных материалов, оснащении органов государственных и метрологических служб.
Основные технические характеристики
-
Диапазон допускаемых аттестованных значений шага шаговой структуры 00÷2100 нм
-
Границы допускаемых значений абсолютной погрешности шага шаговой структуры при Р=0,95: ±1
-
Диапазон допускаемых аттестованных значений расстояния d111 между плоскостями (111) монокристаллического кремния в материале СО 0,312÷0,315 нм
-
Границы допускаемых значений абсолютной погрешности расстояния d111 между плоскостями (111) монокристаллического кремния в материале СО при Р=0,95 ± 0,0005
ЗАЯВКА НА СОТРУДНИЧЕСТВО
Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных
