МЕРА ШИРИНЫ И ПЕРИОДА СПЕЦИАЛЬНЫЕ МШПС-2.0К
ОБОРУДОВАНИЕ
Передача размера единицы длины в диапазоне 10-9 ÷ 10-4 м и калибровка (поверка) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Применяется в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, фармацевтике и микробиологии, производстве полимеров и генная инженерия, создании наноструктурных материалов, оснащении органов государственных и метрологических служб.
Основные технические характеристики
-
Номинальное значение шага шаговой структуры меры (t) 2,00 мкм
-
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более ± 0,05 мкм
-
Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры (bu) 10 ÷ 500 нм
-
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры (h) 100 ÷ 1400 нм
-
Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a) 75 ÷ 980 нм
-
Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры δ (в пределах ширины линии ориентирования), не более 5 нм
-
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения размеров bu, h, δ, не более ± 2 нм
-
Предел допускаемых значений абсолютной погрешности определения размера a, не более ± 1 нм
ЗАЯВКА НА СОТРУДНИЧЕСТВО
Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных
