ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП С ПРИСТАВКОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ, СИСТЕМОЙ ФОКУСИРОВАННОГО ИОННОГО ПУЧКА И ГАЗОВОЙ ХИМИИ QUANTA 200 3D
ОБОРУДОВАНИЕ
Фигурная резка (травление фокусированным ионным пучком) поверхности объекта для формирования объемных структур произвольной формы и уровня сложности с разрешением до 70 нм. Энергия ионов варьируется от 100 эВ до 30 кэВ.
Возможность формирования глубоких отверстий с аспектным отношением 1/10. Наличие электронного пучка позволяет проводить травление диэлектрических поверхностей.
Основные технические характеристики
-
Эффективный диаметр электронного зонда, согласно ГОСТ Р 8.636-2007 30 нм
-
Система электронной литографии компании Raith (разрешение до 70 нм).
-
Наличие 4 систем локального напуска газа. 2 из систем используются для селективного травления, а 2 – для нанесения проводящих покрытий (вольфрам и платина) по заданному рисунку.
-
Производитель FEI Company, США
ЗАЯВКА НА СОТРУДНИЧЕСТВО
Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных
