АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙМИКРОПРОФИЛОМЕТР (АИМ)
ОБОРУДОВАНИЕ
Измерение микрорельефа поверхности отражающих объектов, толщины тонких пленок, параметров шероховатости. Применяется в материаловедении, микроэлектронике.
Основные технические характеристики
-
диапазон измерения глубины микрорельефа 100нм-20мкм
-
погрешность измерения глубины 5 нм
-
погрешность в плоскости изображения 0.4 мкм
-
диапазон перемещения автоматизированного координатного стола 40*40 мм2
-
минимальный шаг сканирования 5 мкм
-
увеличение микроскопа 33 крат
-
числовая апертура объектива 0.65
-
длина волны источника освещения 650 нм
ЗАЯВКА НА СОТРУДНИЧЕСТВО
Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных
