Министерство промышленности и торговли Российской Федерации.

 

 

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума

 

 

 

 

Общая информация

Аккредитация

Продукция

ЦКП НИЦПВ

Техничес­кие комитеты по стандартизации

Федеральные целевые программы

Национальные и межгосударственные стандарты

Закупки

Экологическая ответственность

Новости

Сотрудники

Публикации

Контакты

Прейскурант

 

 

Центр коллективного пользования НИЦПВ

 

Перечень стандартов, методов и методик выполнения измерений, разработанных АО "НИЦПВ"

 

 

п/п

Метод, методика

Аттестованная / неаттестованная (+/-)

Дата аттестации № п/п

1

2

3

4

 

Методики выполнения измерений, разработанные АО "НИЦПВ" совместно с Институтом кристаллографии РАН

 

1

ГСИ. Ориентировка крупных кристаллов на рентгеновском дифрактометре. Методика выполнения измерений рентгенодифракционным методом.

+

30.11.2004

2

ГСИ.  Линейные и объемные дефекты в кристаллических структурах. Методика выполнения измерений с помощью двухкристального рентгеновского топографического спектрометра.

+

30.11.2004

3

ГСИ. Интегральные структурные параметры наночастиц и кластеров в моно- полидисперсных системах, толщина и период повторяемости в тонких пленках.

+

30.11.2004

4

ГСИ.  Ориентация образца, параметры элементарной ячейки и симметрия монокристаллов в области температур 10-800К.  Методика выполнения измерений с помощью четырехкружных рентгеновских дифрактометров Enraf-Nonius и Huber.

+

30.11.2004

5

ГСИ. Фазовый анализ поликристаллов. Методика выполнения измерений с помощью координатного рентгеновского дифрактометра КАРД-6.

+

30.11.2004

6

ГСИ.  Высокоразрешающие пространственно-угловые рефлектометрические измерения.   Методика выполнения измерений с помощью высокоразрешающего сканирующего рефлектометра.

+

30.11.2004

7

ГСИ. Параметры структуры монокристаллов и сложных многослойных нанокомпозиций. Методика выполнения измерений рентгенодифракционным методом.

+

30.11.2004

8

ГСИ. Гомогенность кристаллических объектов. Методика выполнения измерений методом двухкристальной рентгеновской дифрактометрии.

+

30.11.2004

9

ГСИ. Параметры шероховатости сверхгладких поверхностей. Методика выполнения измерений рентгеновским методом.

+

21.11.2005

10

ГСИ. Нарушенные слои и нанесенные покрытия. Методика выполнения измерений рентгеновским методом.

+

30.11.2004

11

ГСИ. Линейные размеры объектов в диапазоне 2-100 мкм. Методика выполнения измерений на оптическом микроскопе Carl Zeiss E2.

+

30.11.2004

12

ГСИ. Спектральные показатели ослабления конденсированных сред в диапазоне длин волн 0,2-50 мкм. Методика выполнения измерений спектрофотометрическим методом.

+

30.11.2004

13

ГСИ. Объемное и удельное сопротивления высокоомных кристаллических диэлектриков и полупроводников. Методика выполнения измерений.

+

30.11.2004

14

ГСИ. Микротвердость материалов. Методика выполнения измерений микротвердости с помощью микротвердометра ПМТ-3.

+

30.11.2004

15

ГСИ. Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47.

+

30.11.2004

16

ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах.  Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа EM-430ST.

+

30.11.2004

17

ГСИ. Линейные размеры элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов.  Методика выполнения измерений с помощью растровых электронных микроскопов JSM-840 и BS-340.

+

30.11.2004

18

ГСИ. Структура поверхности кристалла при дифракции электронов на отражение. Методика выполнения измерений электронографическим методом.

+

30.11.2004

19

ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах в диапазоне 0,1 ÷ 60 нм. Распределение интенсивностей рефлексов в дифракционных картинах. Методика выполнения измерений с помощью электронографа ЭМР-102.

+

30.11.2004

20

ГСИ. Экспрессная оценка качества кристаллов оксида цинка и исходных материалов по параметру «содержания примеси» Методика выполнения измерений на установке «УЭКК».

+

30.05.2005

21

ГСИ. Эффективная шероховатость поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47. 

+

30.05.2005

22

ГСИ. Коэффициент электромеханической связи и температурный коэффициент частоты пьезоэлектрических кристаллов Методика выполнения измерений на установке «Пьезо-1».

+

30.05.2005

23

ГСИ. Отклонение от плоскостности пластин. Методика выполнения измерений интерференционным методом.

+

30.05.2005

24

ГСИ. Ориентация кристаллов сапфира. Методика выполнения измерений на рентгеновском дифрактометре ДРОН-2,0.

+

30.05.2005

25

ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах в диапазоне 0,08÷60 нм; распределение интенсивностей в дифракционных картинах.  Методика выполнения измерений с помощью электронографа ЭМР-102 (модернизированного).

+

21.11.2005

26

ГСИ. Эффективная шероховатость поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47. 

+

21.11.2005

27

ГСИ. Определение плотности приповерхностных слоев многослойных гетероструктур. Методика выполнения измерений с помощью рентгеновского высокоразрешающего сканирующего рефлектометра ВСР-100.

+

21.11.2005

28

ГСИ. Метрические параметры поверхности. Методика выполнение измерений с помощью сканирующей зондовой нанолаборатории Ntegra Prima.

+

14.07.2006

29

ГСИ. Ориентация образца, параметры элементарной ячейки и симметрия монокристаллов в области температур 90-490К. Методика выполнения измерений с помощью рентгеновского дифрактометра Xcalibur S.

+

14.07.2006

30

ГСИ. Пространственное распределение атомов в кристаллах. Методика выполнения измерений с помощью рентгеновского спектрометра АССВ.

+

14.07.2006

31

ГСИ. Измерение линейных размеров объектов в режиме изображения и межплоскостных расстояний в режиме дифракции. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа Tecnai G2 30 S-TWIN с рентгеновским спектрометром фирмы EDAX.

+

21.11.2005

32

ГСИ. Размеры наночастиц в полидисперсных системах и форма биомакромолекул в растворах. Методика выполнения измерений с помощью малоуглового рентгеновского дифрактометра Hecus “SAXS System 3”.

+

17.07.2006

33

ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах в диапазоне 0,1÷30 нм; распределение интенсивностей в дифракционных картинках. Методика выполнения измерений с помощью электронографа ЭМР-110К.

+

14.07.2006

34

ГСИ. Линейные размеры элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов. Методика выполнения измерений с помощью растрового электронного микроскопа JSM-7401F.

+

14.07.2006

35

ГСИ. Размеры частиц и распределение частиц по размерам. Методика выполнения измерений с помощью растрового электронного микроскопа S-4800F.

+

30.06.2008

36

ГСИ. Размеры частиц и распределение частиц по размерам. Методика выполнения измерений с помощью растрового электронного микроскопа JSM-6460LV.

+

30.06.2008

37

Измерение линейных размеров объектов в режиме изображения и межплоскостных расстояний в режиме дифракции. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100.

+

12.01.2009

38

Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующей зондовой нанолаборатории Ntegra Aura.

+

12.01.2009

39

Линейные размеры микро- и нанообъектов. Методика выполнения измерений с помощью растрового электронного микроскопа S-4800.

+

12.01.2009

40

ГСИ. Преобразователи акустической эмиссии. Методика поверки

+

26.06.2008

41

ГСИ. Линейные размеры элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов, регистрируемые в ионных и электронных пучках. Методика выполнения измерений с помощью микроскопа Quanta 200 3D

+

10.03.2009

42

ГСИ. Метрические параметры полимерных микрокапсул в водных суспензиях. Методика выполнения измерений с  помощью оптического микроскопа Leica TCS SPE

+

10.03.2009

43

ГСИ. Определение политипов монокристаллов карбида кремния. Методика выполнения измерений с помощью рентгеновского дифрактометра Xcalibur S с координатным детектором

+

10.03.2009

 

Национальные и межгосударственные стандарты, разработанные (разрабатываемые) АО "НИЦПВ" совместно с МФТИ, РНЦ "Курчатовский институт" и Институтом кристаллографии РАН 

 

1

ГОСТ Р 8.628—2007 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

+

21.05.2007

2

ГОСТ Р 8.629—2007 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

+

21.05.2007

3

ГОСТ Р 8.630—2007 ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки

+

21.05.2007

4

ГОСТ Р 8.631—2007 ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки

+

21.05.2007

5

ГОСТ Р 8.635—2007 ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

+

20.11.2007

6

ГОСТ Р 8.636—2007 ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

+

20.11.2007

7

ГОСТ Р 8.644—2008 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

+

26.08.2008

8

ГОСТ 8.591—2009 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

+

05.04.2010

9

ГОСТ 8.592—2009 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

+

05.04.2010

10

ГОСТ 8.593—2009 ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки

+

05.04.2010

11

ГОСТ 8.594—2009 ГСИ. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки

+

05.04.2010

12

ГОСТ Р 8.696—2010 ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах и распределение интенсивностей в дифракционных картинах. Методика выполнения измерений с помощью электронного дифрактометра

+

10.02.2010

13

ГОСТ Р 8.697—2010 ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа

+

10.02.2010

14

ГОСТ Р 8.698—2010 ГСИ. Размерные параметры наночастиц и тонких пленок. Методика выполнения измерений с помощью малоуглового рентгеновского дифрактометра

+

10.02.2010

15

ГОСТ Р 8.700—2010 ГСИ. Методика измерений эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа

+

05.04.2010

 

 

Аттестованные методики выполнения измерений и/или соответствующие стандарты

 

п/п

Метод, методика

Аттестованная / неаттестованная (+/-)

Дата аттестации № п/п

1

Линейные размеры рельефных элементов кристаллических рельефных наноструктур. Методика измерений с помощью стенда для метрологического контроля параметров кристаллических рельефных структур МВИ-74 ПВ

+

11.03.2013

2

Геометрические параметры кристаллических рельефных наноструктур. Методика измерений с помощью стенда для проведения предварительных испытаний кристаллических рельефных наноструктур МВИ-73 ПВ

+

10.10.2012

3

Отклонение рабочей поверхности кремниевой пластины от кристаллографической плоскости (100). Методика измерений с

помощью рентгеновского дифрактометра D8 DISCOVER МВИ-73/1 ПВ

+

08.10.2012

4

Геометрические параметры кристаллических рельефных наноструктур. Методика измерений с помощью измерительного для входного контроля параметров кристаллических рельефных наноструктур МВИ-71 ПВ

+

15.07.2012

5

Параметры шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния. Методика измерений с помощью стенда для входного и пооперационного контроля процесса изготовления кристаллических рельефных наноструктур МВИ-70ПВ

+

12.03.2012

6

Параметры наноструктурированных объектов. Методика измерений с помощью электрозондового рентгеноспектрального микроанализа МВИ-69ПВ

+

12.03.2012

7

Ширина верхнего основания поперечного среза трапецеидального рельефного элемента кристаллической наноструктуры. Методика измерений с помощью измерительного стенда для испытаний экспериментальных образцов кристаллических рельефных наноструктур МВИ-67 ПВ

+

12.03.2012

8

Размерные параметры наноструктурированных объектов. Методика измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа с регистрацией изображения на фотопленку МВИ-72 ПВ

+

31.08.2012

9

Параметры наноструктурированных объектов. Методика измерений с помощью просвечивающей электронной микроскопии МВИ-68 ПВ

+

12.03.2012

10

Геометрические параметры кристаллических рельефных наноструктур. Методика измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Ntegra Aura МВИ-73 ПВ

+

10.10.2012

11

Ширина верхнего основания и шаг трапецеидальных рельефных элементов в монокристаллическом кремнии. Методика с помощью стенда для входного и пооперационного контроля процесса изготовления кристаллических рельефных наноструктур МВИ – 63/1 ПВ

+

21.12.2011

12

Размер наночастиц керамик в полимерном материале (гранулах и пленке). Методика измерений с помощью растрового электронного микроскопа МВИ-63 ПВ

+

18.11.2011

13

Радиус скругления угла при верхнем основании рельефного элемента кристаллической рельефной наноструктуры. Методика измерений с помощью электронного-ионного микроскопа JIB 4500 и просвечивающего электронного микроскопа МВИ-57/1 ПВ

+

26.10.2011

14

Неравномерность ширины верхнего основания кристаллической рельефной нанструктуры. Методика измерений с помощью растрового электронного микроскопа МВИ-113/1 ПВ

+

29.09.2011

15

Размер частиц наноструктурированного гидроксида магния. Методика измерений с помощью растрового электронного микроскопа МВИ-62ПВ

+

18.11.2011

16

Толщина наноразмерных пластин силикатов в полимерной матрице. Методика измерений с помощью растрового электронного микроскопа МВИ-61

+

18.11.2011

17

Методика измерений и контроля параметров кристаллических рельефных наноструктур. Линейные размеры проявленных в резисте структур и неравномерность ширины элементов резистивной маски на поверхности кремниевых пластин МВИ-59ПВ

+

28.10.2011

18

Методика измерений и контроля параметров кристаллических рельефных наноструктур. Линейные размеры структур в оксидной маске на поверхности кремниевых пластин МВИ-58 ПВ

+

28.10.2011

 

 


Страничка находится на стадии разработки, приносим свои извинения за возможные сбои и неудобства
.