Министерство промышленности и торговли Российской Федерации.

 

 

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума

 

 


 

Общая информация

Аккредитация

Продукция

ЦКП НИЦПВ

Техничес­кие комитеты по стандартизации

Федеральные целевые программы

Национальные и межгосударственные стандарты

Закупки

Экологическая ответственность

Новости

Сотрудники

Публикации

Контакты

Прейскурант

 

Центр коллективного пользования НИЦПВ

Основные публикации

 

2008

1.   M.N.Filippov, I.D.Lysov, Yu.A.Novikov, A.V.Rakov, V.A.Sharonov, P.A.Todua Direct measurement of the linewidth of relief element on AFM in nanometer range. // International Conference “Micro- and nanoelectronics 2007”, Moscow, Zvenigorod, Russia, 2007, Proceedings of SPIE, v. 7025, 2008, p. 702510-1 – 702510-10.

2.    S.A.Darznek, M.N.Filippov, V.B.Mityukhlyaev, Yu.A.Novikov, A.V.Rakov, P.A.Todua Nanorelief elements in reference measures for scanning electron microscopy. // International Conference “Micro- and nanoelectronics 2007”, Moscow Zvenigorod, Russia, 2007, Proceedings of SPIE, v. 7025, 2008, p. 702511-1 – 702511-10.

3.      Yu.A.Novikov, V.P.Gavrilenko, A.V.Rakov, P.A.Todua Test objects with right-angled and trapezoidal profiles of the relief elements. // International Conference “Optics+Photonics. Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing II”, San Diego, USA, 2008, Proceeding of SPIE, v. 7042, p. 704208-1 – 704208-12.

4.       P.A.Todua, V.P.Gavrilenko, Yu.A.Novikov, A.V.Rakov Check of the quality of fabrication of test objects with a trapezoidal profile. // International Conference “Optics+Photonics. Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing II”, San Diego, USA, 2008, Proceeding of SPIE, v. 7042, p. 704209-1 – 704209-8.

5.      V.P.Gavrilenko, Yu.A.Novikov, A.V.Rakov, P.A.Todua Measurement of the parameters of the electron beam of a scanning electron microscope. // International Conference “Optics+Photonics. Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing II”, San Diego, USA, 2008, Proceeding of SPIE, v. 7042, p. 70420C-1 – 70420C-12.

6.   Ю.А.Новиков, А.В.Раков, П.А.Тодуа Геометрия формирования изображения в сканирующей зондовой микроскопии. // Микроэлектроника, 2008, т. 37, № 6, с. 448-469.

 

2009

1. V.P.Gavrilenko, V.A.Kalnov, Yu.A.Novikov, A.A. Orlikovsky, A.V.Rakov, P.A.Todua, K.A.Valiev, E.N.Zhikharev Measurement of dimensions of resist mask elements below 100 nm with help of a scanning electron microscope. // International Conference “Advanced Lithography. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIII”, San Jose, USA, Proceeding of SPIE. 2009. V. 7272. P. 727227-1 - 727227-9.

2. V.P.Gavrilenko, Yu.A.Novikov, A.V.Rakov, P.A.Todua, Ch.P.Volk Calibration of a scanning electron microscope in the wide range of magnifications for the microscope operation in the integrated circuit production line. // International Conference “Advanced Lithography. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIII”, San Jose, USA, Proceeding of SPIE. 2009. V. 7272. P. 72720Z-1 - 72720Z-12.

3. V.P.Gavrilenko, M.N.Filippov, Yu.A.Novikov, A.V.Rakov, P.A.Todua Russian Standards for Dimensional Measurements for Nanotechnologies. // International Conference “Scanning Microscopy”, Monterey, USA, Proceeding of SPIE. 2009. V. 7378. P. 737812-1 - 737812-8.

4.   V.P.Gavrilenko, M.N.Filippov, Yu.A.Novikov, A.V.Rakov, P.A.Todua Test objects for automated dimensional measurements at the nanoscale level using a scanning electron microscope. // International Conference “Scanning Microscopy”, Monterey, USA, Proceeding of SPIE. 2009. V. 7378. P. 737813-1 - 737813-8.

 

2010

1.  V.P. Gavrilenko, Yu.A. Novikov, A.V. Rakov, P.A. Todua, “Accuracy of ellipsometric measurements of Si-SiO2 structures”, Optical Micro- and Nanometrology III, edited by Christophe Gorecki, Anand Krishna Asundi, Wolfgang Osten, Proc. of SPIE Vol. 7718, pp. 77181B-1 – 77181B-12, 2010.

2.  V.P. Gavrilenko, Yu.A. Novikov, A.V. Rakov, P.A. Todua, “Test objects for calibration of SEMs and AFMs operating at the nanoscale”, Optical Micro- and Nanometrology III, edited by Christophe Gorecki, Anand Krishna Asundi, Wolfgang Osten, Proc. of SPIE Vol. 7718, pp. 77180Y-1 – 77180Y-10, 2010.

3.  V.P. Gavrilenko, E. Oks, “Ionization of Hydrogen Atoms by a Low-Frequency Laser Field of an Arbitrary Strength”, International Review of Atomic and Molecular Physics, Vol. 1, pp. 45-51, 2010.

4.  К.А. Валиев, В.П. Гавриленко, Е.Н. Жихарев, М.А. Данилова, В.А. Кальнов, Ю.В. Ларионов, В.Б. Митюхляев, А.А. Орликовский, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ», Микроэлектроника, 2010, том 39, № 6, с 1-7,

5.  Filippov M.N., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. SEM probe defocusing method of measurement of linear sizes of nanorelief elements. Proc. of SPIE. 2010. V. 7521. Pp. 75216-1 – 75216-9.

 

2011

1. В.П. Гавриленко, В.Б. Митюхляев, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов,  В.А. Шаронов, «Влияние контаминации в РЭМ на профиль рельефных элементов нанометрового диапазона», Нано- и микросистемная техника, № 2, 2011 г., с. 2 – 6.

 

2012

1.  В.П. Гавриленко, А.Ю. Кузин, Ю.В. Ларионов, В.Б. Митюхляев, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Измерение линейных размеров элементов нанорельефа с трапецеидальным профилем сечения методом дефокусировки электронного пучка растрового электронного микроскопа», Измерительная техника, № 5, 2012 г., с. 19 – 21.

2.  А.Ю. Кузин, А.И. Орешкин, В.И. Панов, П.А. Тодуа, «Особенности применения реконструированной поверхности кремния для калибровки СТМ при измерении геометрических параметров объектов», Труды МФТИ, № 3 (15), 2012 г., с. 91 – 97.

3.  А.Ю. Кузин, А.И. Орешкин, В.И. Панов, П.А. Тодуа, «Применение реконструированной поверхности кремния для калибровки сканирующих туннельных микроскопов», Измерительная техника, № 7, 2012 г., с. 26 – 30.

4.  В.П. Гавриленко, А.Ю. Кузин, В.Б. Митюхляев, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, В.А. Шаронов, «Влияние контаминации в растровых электронных микроскопах на профиль рельефных элементов в монокристаллическом кремнии», Метрология, № 8, 2012 г., с. 15 – 23.

5.  В.В. Альзоба, А.Ю. Кузин, Ю.В. Ларионов, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Выбор оптимальных параметров электронного зонда растрового электронного микроскопа при измерении геометрических параметров объектов методом дефокусировки зонда», Измерительная техника, № 8, 2012 г., с. 40 – 43.

6.  А.А. Ежов, А.Ю. Кузин, Д.А. Музыченко, В.И. Панов, П.А. Тодуа, «Методика калибровки сканирующего оптического микроскопа ближнего поля при измерении геометрических параметров объектов в режиме квазитрения», Измерительная техника, № 9, 2012 г., с. 15 – 18.

7.  Д.С. Бодунов, В.П. Гавриленко, А.В. Заблоцкий, А.А. Кузин, А.Ю. Кузин, В.Б. Митюхляев, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов», Измерительная техника, №10, 2012 г., с. 16 – 18.

 

2013

1.    M.N. Filippov, M.A. Ermakova, V.P.Gavrilenko, A.A. Kuzin, A.Yu. Kuzin, A.A. Kuzmin, V.B.Mityukhlyaev, A.V.Rakov, P.A.Todua, A.V. Zablotskiy, «Natural oxide thickness measurements on the Test Silicon Relief Pitch Structure», International Conference Micro- and Nano-Electronics 2012, Edited by Alexander A. Orlikovsky, Vladimir F. Lukichev, Proc. of SPIE, Vol. 8700, 2013, 87000U.

2.    В.П. Гавриленко, А.Ю. Кузин, В.Б. Митюхляев, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, В.А. Шаронов, « Влияние контаминации в низковольтном растровом электронном микроскопе на профиль рельефных элементов нанометрового диапазона», Нано - и микросистемная техника, № 1, 2013 г., с. 2 – 5.

3.    В.В. Альзоба, А.Ю. Кузин, Ю.В. Ларионов, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Анализ методической погрешности измерений геометрических параметров объектов в РЭМ методом дефокусировки зонда, обусловленной параметрами зонда», Труды МФТИ, Том 5, № 1 (17), 2013 г., с. 4 – 9.

4.    Д.С. Бодунов, Данилова М.А., В.А. Кальнов, А.Ю. Кузин, В.Б. Митюхляев, А.А. Орликовский, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Экспериментальные исследования метода дефокусировки электронного пучка при измерениях геометрических параметров наноразмерных объектов в низковольтном режиме растрового электронного микроскопа», Труды МФТИ, Том 5, № 1 (17), 2013 г., с. 16 – 20.

5.    А.Л. Васильев, В.П. Гавриленко, М.В. Ковальчук, В.Б. Митюхляев, Ю.В. Озерин, А.В. Раков, В.В. Роддатис, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Калибровка просвечивающего электронного микроскопа с использованием срезов рельефных структур», Труды МФТИ, Том 5, № 1 (17), 2013 г., с. 25 – 30.

6.    Н.Н. Михеев, М.А. Степович, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, Е.В. Широкова, «Расчет поправки на поглощение в рентгеноспектральном микроанализе», Труды МФТИ, Том 5, № 1 (17), 2013 г., с. 68 – 71.

7.    А.Ю. Кузин, А.И. Орешкин, В.И. Панов, П.А. Тодуа, «Особенности применения упорядоченных пленок молекул фуллеренов для калибровки сканирующих туннельных микроскопов при измерении геометрических параметров объектов», Измерительная техника № 2, 2013 г., с. 10 –15.

8.    А.Л. Васильев, В.П. Гавриленко, М.В. Ковальчук, В.Б. Митюхляев, Ю.В. Озерин, А.В. Раков, В.В. Роддатис, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Тест-объект для калибровки просвечивающего электронного микроскопа», Микроэлектроника, том 42, № 3, 2013 г., с. 194 –199.

9.    В.П. Гавриленко, А.Ю. Кузин, В.Б. Митюхляев, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, В.А. Шаронов, «Искажение профиля рельефных элементов на поверхности монокристаллического кремния в результате их контаминации в низковольтном растровом электронном микроскопе», Измерительная техника № 3, 2013 г., с. 12 –15.

10. Д.С. Бодунов, В.П. Гавриленко, А.В. Заблоцкий, А.А. Кузин, А.Ю. Кузин, В.Б. Митюхляев, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Калибровка просвечивающих электронных микроскопов с помощью ГСО 10030-2011», Нано - и микросистемная техника, № 3, 2013 г., с. 11 –14.

11. А.С. Батурин, В.С. Бормашов, А.В. Заблоцкий, П.А. Тодуа, В.А. Шаронов, «Определение нелинейности емкостных датчиков по оси Z атомно-силового микроскопа», Метрология № 3, 2013 г., с. 18 – 22.

12. А.С. Авилов, В.В. Волков, С.П. Губин, М.А. Запорожец, А.Ю. Кузин, В.Б. Митюхляев, П.А. Тодуа, Е.Г. Рустамова, С.Н. Сульянов, «Стандартные образцы наночастиц Au и ZnO для калибровки малоугловых рентгеновских дифрактометров», Измерительная техника № 4, 2013 г., с. 26 – 30.

13. А.А. Вирюс, А.В. Заблоцкий, А.Ю. Кузин, Т.А. Куприянова, О.И. Лямина, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Составляющие вторичного рентгеновского спектра при полихроматическом возбуждении и энергодисперсионной регистрации», Метрология № 4, 2013 г., с. 9 – 16.

14. В.П. Гавриленко, М.А. Ермакова, А.В. Заблоцкий, А.А. Кузин, А.Ю. Кузин, А.А. Кузьмин, В.Б. Митюхляев, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, «Измерение толщины естественного оксида на кремниевой рельефной шаговой структуре», Метрология № 5, 2013 г., с. 14 – 19.

15. А.С. Авилов, А.В. Заблоцкий, А.А. Кузин, А.Ю. Кузин, А.А. Кузьмин, П.А. Тодуа, «Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа», Измерительная техника № 5, 2013 г., с. 14 – 16.

16. В.В. Альзоба, А.В. Заблоцкий, С.А. Морозов, П.А. Тодуа, «Стабильность калибровки растровых электронных микроскопов», Метрология № 6, 2013 г., с. 8 – 16.

17. А.Ю. Кузин, Т.А. Куприянова, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов, Н.В. Швындина, В.Я. Шкловер, «Электроннозондовое определение углерода в условиях образования пленки поверхностных загрязнений», Метрология, № 11, 2012 г., с. 24 – 33.

 

 



Страничка находится на стадии разработки, приносим свои извинения за возможные сбои и неудобства
.