Министерство промышленности и торговли Российской Федерации.

 

 

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума

 

 


 

Общая информация

Аккредитация

Продукция

ЦКП НИЦПВ

Техничес­кие комитеты по стандартизации

Федеральные целевые программы

Национальные и межгосударственные стандарты

Закупки

Экологическая ответственность

Новости

Сотрудники

Публикации

Контакты

Прейскурант

 

Центр коллективного пользования НИЦПВ

Наиболее существенные результаты и достижения за последние годы:

Разработан метод измерений линейности сканирования в атомно-силовом микроскопе (АСМ). Метод проверен на серийном АСМ и показал хорошие результаты. Разработаны методики проведения исследований с использованием приобретенного оборудования (просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) JEM 2100), включая методики исследования метрологических характеристик ПЭМ с использованием реплик с дифракционных решеток и латексных сфер.

Исследованы процессы взаимодействия  электронов с энергией до 300 кэВ с кристаллическими структурами. Проанализирована вероятность возникновения радиационных повреждений в твердом теле и эффекты контаминации под действием электронов пучка. На основе проведенных исследований разработана методика выполнения измерений линейных размеров объектов в режиме изображения и межплоскостных расстояний в режиме дифракции с помощью просвечивающего электронного микроскопа Tecnai G2 30 S-TWIN  в диапазоне (0,14-2) нм с относительной погрешностью  не более ±6%.

Исследованы проблемы совершенствования измерительной, исследовательской и испытательной приборной базы для метрологического обеспечения наноиндустрии. Выполнен сравнительный анализ тенденций, закономерностей, уровня отечественного и зарубежного научно-технического и технологического развития в области метрологического обеспечения наноиндустрии.

Обоснованы новые технические требования к перспективному измерительному оборудованию, включая растровые электронные микроскопы, просвечивающие электронные микроскопы, сканирующие зондовые микроскопы. Для локального анализа показана возможность достижения локальности до 10-8 мкм3 и предела обнаружения на уровне единичных атомов, а для приборов, ориентированных на измерение характеристик диэлектрических объектов показана возможность создания измерительных комплексов с дополнительными источниками электронов низких энергий и другими видами воздействия на объект (тепловое воздействие, вакуумное ультрафиолетовое излучение).

Разработаны методы калибровки атомно-силовых микроскопов (АСМ), которые включают определение цены деления АСМ для трех ортогональных осей, радиуса острия кантилевера, наклона острия кантилевера, неортогональности Z-сканера. Данные методы были успешно апробованы с использованием нанообъектов - эталонных шаговых структур, представляющих собой набор трапециедальных выступов на поверхности кремния, имеющих нанометровые размеры.

Разработаны методы измерения линейных размеров элементов рельефных наноструктур на поверхности твердых тел с помощью растровой электронной микроскопии. Методы включают измерение как латеральных размеров, так и  высоты рельефа наноструктур. Особенностью разработанных методов является учет характеристик электронного зонда растрового электронного микроскопа.

Проекты стандартов ГОСТ Р  «Межплоскостные расстояния в кристаллах и распределение интенсивностей в дифракционных картинах. Методика выполнения измерений с помощью электронного дифрактометра», «Межплоскостные расстояния в кристаллах. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа».

Исследованы процессы взаимодействия  электронных зондов  и сфокусированных пучков ионов галлия с кристаллическими структурами. Рассмотрены процессы модификации материала и возникновения нарушенного слоя в зависимости от тока  и энергии ионов зонда. На основе проведенных исследований разработана методика выполнения измерений размеров элементов топологии  микрорельефа поверхности твердотельных материалов в электронно-ионном микроскопе Quanta 200 3D в диапазоне 0,04-1000 мкм с относительной погрешностью 4-8 %

Метрологический комплекс и нормативно-методическая база для обеспечения единства измерений геометрических параметров наноматериалов и продукции наноиндустрии. Аттестованные эталонные меры топологии наноструктур.

В ходе выполнения НИР проведен анализ и оценка современного состояния в области стандартизации методов диагностики наноматериалов, а также анализ и сравнительная оценка существующих методов измерения геометрических параметров наночастиц, в том числе индивидуальных.

Разработан подход к оценке неопределенности и правильности результатов измерения геометрических параметров нанообъектов.

Разработана поверочная схема для средств измерений геометрических параметров в диапазоне 1 - 100 нм.

Разработаны методики измерения геометрических   параметров наночастиц методом растровой электронной микроскопии, методики оценки формы наночастицы по результатам измерений нескольких геометрических параметров.

Исследованы электрофизические и метрологические характеристики актюаторов пьезокерамических многослойных (АПМ) различной конструктивной модификации (АПМ 1, АПМ 2, АПМ 3).

Аттестованные методики выполнения измерений размерных параметров продукции нанотехнологий в количестве 3 шт.

Исследованы проблемы метрологического обеспечения наноиндустрии с учетом появления новых средств измерений и новых методов измерений, в частности, подчеркнута определяющая роль создания и аттестации стандартных образцов состава и свойств нанообъектов, роль многофункциональных и многокластерных измерительных комплексов для испытаний нанообъектов и наноматериалов, ведущая роль обеспечения единства и метрологической прослеживаемости линейных измерений. Произведен анализ измерительных потребностей в контроле геометрических параметров наночастиц и функциональных параметров наноструктур. Сформированы предложения по созданию комплекса методов контроля геометрических параметров наночастиц и функциональных параметров наноструктур.

Исследованы метрологические характеристики (проведена калибровка и поверка) атомно-силовых микроскопов  центра коллективного пользования МФТИ.

Аттестованные методики измерений в области структурной диагностики кристаллических материалов Периодическая поверка и калибровка приборов и контрольно-измерительного оборудования ЦКП ИК РАН. Проведены испытания для целей утверждения типа средств измерений ЦКП ИК РАН.

Исследованы метрологические характеристики (проведена калибровка и поверка) растровых электронных микроскопов  центра коллективного пользования МФТИ.

Аттестованные методики выполнения измерений локального элементного состава и структурных параметров продукции нанотехнологий в количестве 4 шт. Проекты стандартов ГОСТ Р на методы калибровки средств измерений локального элементного состава и структурных параметров наноструктур и наноматериалов.



Страничка находится на стадии разработки, приносим свои извинения за возможные сбои и неудобства
.